第290章 你们的硼，不乾净（1/2）

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半导体研究所，晶体生长实验室。

“顾总工，导热均衡层装上之后，连跑了几炉。”

吴建华把数据纸往她面前一递，声音里压著股劲儿。

“边缘微裂纹消失了，晶圆全过了外观检查。”

顾昭昭接过数据纸，站在走廊里就翻。

吴建华在旁边搓著手，跟等判卷的学生一个样。

翻到第二页，目光在一列数字上停了两秒。

翻到第三页，手指点在“位错密度”那一栏。

“平均位错密度多少”

“三乘以十的三次方！”

吴建华脱口而出。

“比之前又降了半个数量级！”

顾昭昭没接话。

翻到最后一页——霍尔效应测试结果。

载流子迁移率。

数字列在纸上，黑白分明。

她盯了三秒，合上数据纸。

“吴所长，迁移率不达標。”

吴建华的笑容凝在脸上。

“你自己看。”

顾昭昭把数据纸翻回最后一页，指尖点在第四列。

“平均载流子迁移率，四千二百。军品级t/r组件的衬底要求，不低於五千。”

吴建华一把抢过数据纸，眼镜差点从鼻樑上滑下来。

“差了八百……”

“差了百分之十六。”

顾昭昭纠正他。

“位错密度达標了，但迁移率上不去，说明问题不在晶体结构。”

她推开实验室的铁门，直接走到液封直拉炉旁边。

“废片在哪”

老周端过铝托盘。

三片切好的废片搁在上面。

顾昭昭拿起一片，没去用显微镜，直接对著头顶的白炽灯管调整角度。

晶片表面泛起金属光泽。

“不是炉子的问题。”

她把晶片搁回托盘。

“是材料。”

吴建华站在旁边，温彻和两个研究员也凑了过来。

温彻背著军用挎包，掏出笔记本，笔帽一拧。

“液封直拉法，除了砷和鎵，还有什么”

顾昭昭抬头问。

吴建华反应过来了：“三氧化二硼液封剂”

“你们的硼，哪儿来的”

“京市化学试剂厂，分析纯级別，纯度標称99.98%。”

顾昭昭蹲下去，看了一眼炉体侧面的密封段。站起来。

“不够。”

吴建华皱眉。

“99.98%还不够这已经是国內最高等级的分析纯了——”

“分析纯的標称是总体金属杂质含量。”

顾昭昭打断他，走到工作檯前，拿起一支粉笔，在旁边的小黑板上写了三个字。

“硅、碳、铁。”

“这三种痕量杂质只要有任何一个超標，在上千度高温下就会扩散进砷化鎵熔体。”

她又在黑板上画了个坩堝截面简图，三笔勾完。

吴建华盯著黑板，两只手插进裤兜又抽出来。

“我搞了三十年半导体，一直用分析纯的硼，从没人提过这个。”

“因为以前拉两英寸的，晶体小，生长时间短，杂质效应被掩盖了。”

顾昭昭看著他。

“三英寸，高温保持时间更久，杂质有足够的时间往晶格里钻。”

“尺寸一大，所有以前可以忽略的细节全变成瓶颈。”

吴建华沉默了十来秒。

“那怎么办国內有没有更高纯度的”

“没有，京市化学试剂厂的分析纯已经是天花板。进口渠道堵死了。”

“所以——”

“自己提纯。”

顾昭昭从帆布包里掏出笔记本，翻到標记好的一页，拍在工作檯上。

“区域精炼法。”

页面上画著工艺流程图，环节標註了具体数字。

“五个九——99.999%”

老周脱口而出。

“对。”

吴建华看完流程图，抬起头。

“上回坩堝热场，给了参数我让人直接改，三天搞定。但这个区域精炼——我手底下没人干过。”

顾昭昭把笔记本合上。

“所以我来了。”

吴建华愣住。

“我亲自做第一炉，你们的人在旁边看，看明白了，后面自己跑。”

“你——做”

“有问题”

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